大部分功能陶瓷是由晶體材料或粉末形成的，這些材料或粉末不能通過類似的金屬鑄件或塑料加工而形成。與普通金屬材料相比，功能陶瓷具有彈性系數高、硬度高、加工變質層小、晶相穩定、耐蝕性好、適用于超精密平面拋光等特點。因此，為了制造高精度、高表面質量的功能陶瓷零件，必須進行超精密加工。

然后平面拋光機被以下功能陶瓷超精密加工方法：

1、非接觸拋光

非接觸拋光是指在拋光過程中，工件與拋光盤不接觸，僅用拋光劑沖擊工件表面，以獲得被加工表面的完美結晶度和精確形狀的拋光方法。去除量為幾個到幾十個原子級的拋光方法。。

2、界面反應拋光

當工件與磨料顆粒之間的摩擦界面處于高溫高壓狀態時，很容易在工件表面形成一層非常薄的化合物。該反應物經拋光后容易去除，最終能有效地獲得表面粗糙度低于納米水平的理想表面。它是目前功能陶瓷和器件基板精密加工的主要方法。

3、電場和磁場拋光加工

電場和磁場拋光是利用和控制電場和磁場的強度，使磨料顆粒在工件上獲得高形狀精度、高表面質量和無晶體畸變表面的一種拋光方法。主要用于精密機械的信息設備和高性能元器件的加工。

4、ELID超精密磨削技術

使用微細鑄鐵維基金剛石砂輪超精密加工，穩步研磨，實現了硅片的精磨削。各種材料可用于處理單晶硅、光學玻璃晶片、LED藍寶石基板等。表面粗糙度可以是NM級，可選地研磨和拋光。

5、火花磨削

陶瓷的低粗糙度磨削是通過熱水合反應實現的。

6、孔加工技術

 陶瓷硬脆材料的孔加工技術主要是超聲波加工和激光加工。由于功能陶瓷主要是表面加工，所以在功能陶瓷加工中沒有得到廣泛的應用。

超精密表面的拋光技術是移動的制造成本低，加工效率高的發展方向。隨著拋光研究的不斷深入，提高加工質量，會發生拋光的更實用的方法。